迎来纳米时代磨削、研磨加工

　　随着IT关联产品、汽车、家电等工业制品不断发展，高性能磨削、研磨加工重要性日益增大。对于生产技术人员来说，高精度化、高效率化自动化永远主题。磨削、研磨技术研究开发成果推动着工业产品更新，正脚踏实地向前发展。

　　（1）磨削、研磨技术重要性日益增大

　　如今几乎已普及到所有家庭个人电脑（PC）所配备硬磁盘（HDD）过去超精密机床上用单晶金刚石刀具切削加工。近年来，磁盘面记录密度年增长率达到100％，实现了每1平方英寸达1G记录密度。这一技术经磨削加工后铝合金基盘上镀上无电解NIP薄膜，再通过研磨加工使其表面平滑而得以实现。而高性能加工技术进步，也使得基盘材料从铝合金更换为刚性比更高硅酸铝玻璃、晶化玻璃等，因此，磨削、研磨加工重要性也更大了。

　　（2）高精度化

　　直线电机刚开始开发时，因其能实现高速加工而备受瞩目。但近年来，使用直线电机目已逐渐转向高精度化。也就说，直线电机诸多优良特性，很高定位精度圆弧插补精度尤其令人刮目相看。其原因非接触式驱动系统没有传统伺服电机旋转减速用齿轮副、滚珠丝杠、耦合件等各种机械因素引起误差，以及直线电机必然采用闭路控制。

　　今后，高精度化加工技术发展将日益加速。精密加工，最重要加工之一高精密平面加工。尤其精密测量仪器、光学仪器、硅片等超精密加工领域，要求加工出无限平滑表面。为此，机床制造商开发出了超精密平面磨床，采用独立可变静压滑板技术实现高刚性加工同时，又实现了即使存偏载荷，油膜厚度也不会发生变化（工作台不发生倾斜），磨削平面度达到lμm/m2。此外，加工表面通过抛光可以实现0.03μm/m2平面度。为了实现高精度加工，就必须克服热变形。具体来说，需要尽可能减少来自驱动电机轴承、导向面等加工发热。此外，为了不使加工工件发生热变形，还需要控制加工点产生热量来自工件表面汽化热。为此，该超精密平面磨床配置了既恒温又恒湿隔离罩，作为完整系统加以商品化。

　　（3）高效率化

　　加大砂轮进给量、降低工件进给速度间歇进给磨削技术与使用电沉积磨轮高圆周速度磨削技术相结合而形成HEDG（HighEfficientDeep-CutGrinding）磨削技术欧洲已经实用化了，但日本还几乎无人采用。另一方面，减小砂轮进给量、提高工件进给速度快走刀磨削（高速往复式磨削）金属模具加工等行业正逐渐成为成型磨削主流。这种磨削加工方法通过曲柄、液压伺服装置或直线电机增加单位时间工作台往返次数（对行程较短工件也可以采用砂轮连续进给），从而可以大幅度提高加工效率，也适用于金属模具穿孔等短行程磨削。该方法缺点工作台反转时高加/减速运动容易引起振动，需要设法加以抑制。为此，可以采用减轻工作台重量、加重底盘、进行加/减速控制以及进行平衡等方法。快走刀磨床已被许多平面磨床生产厂家看好，认为可以进行商品化开发，今后将成为金属成型磨床主流。