三坐标测量仪的测量数据会受到很多因素影像，其中主要的是：外界的温度、补偿文件的正确性、侧头校正的正确性和准确性、被测零件的形状误差及基准的选择。其主要内容和如下：
一、
1、温度是影响测量机精度的最大因素。
2、在测量机的机房内温度自下而上是逐渐升高的，而且温度每时每刻又都在变化。因此每个轴的光栅温度和零件温度的差别就影响了测量机测量的精度。
3、不合理的温度控制方法（空调即用即开，测量机不用则关空调），会导致测量室内温度不稳定均衡。测量机的温度也一直在变化，机器处于一种不稳定状态，测量精度会很差。
二、
    补偿文件是使用双频激光干涉仪检测测量机位置度、直线度和角度误差后生成的补偿文件。测量软件是根据它来进行误差补偿的。在安装测量机软件时如果忘记安装补偿文件或将备份文件丢失，会造成测量机精度差和重新校验机器精度。
三、
    测头校验时，校验球及测针的不清洁不牢固及输入了错误的测针长度及标准球直径都会使测量时软件调用测头补偿文件时出现补偿误差或错误，影响测量精度。解决办法：误的测针长度及标准球直径都会使测量时软件调用测头补偿文件时出现补偿误差或错误，影响测量精度。
四、
1、当被测零件有明显的毛刺或沙眼时测量的重复性就明显变差，以至于操作员给不出准确的测量结果。                   
2、不正确的测量基准的选择会造成测量及计算结果误差。