阿贝误差：是指测量导轨系统中的误差，由导轨移动时的角度误差引起的，它使导轨上测量标尺与测量线上测头运行之间产生相对位移，且与“阿贝偏移”和导轨的角度误差成正比。
阿贝偏移：坐标测量机的测量系统与被测工件测量线上的点之间的垂直距离之值。
余弦误差：在移动方向上的测量误差，由线位移测量系统和测量的量规之间的角度偏差所引起的。
分 辨 率：表示测量仪器对于被测量的最小变化反应的能力特性的大小。
误    差：尺寸测量结果减去尺寸测量的真值之间的偏差。
测 量 线：在三坐标坐标测量机的工作区域，进行测量的线。
测 量 点：工件表面的某点以坐标测量机的坐标值的形式作为测量的一部分记录下来。
随机误差：在实际相同条件下多次测量同一工件量值时，其绝对值或符号以不可预测方式变化的误差。
重 复 性：连续进行同样测量的结果之间的接近程度比值。
系统误差：在同样条件下，大量的同尺寸测量，其绝对值和符号保持不变；或当条件变化时，以确定的规律变化的误差。