电子气体简介

气体工业名词,半导体工业用的气体统称 电子气体。按其门类可分为 纯气 高纯气 半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺; 高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。 电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。


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